作者:匿名 来源:本站原创 发布:2022年9月5日 修改:2022年11月18日 所属分类:新闻中心 访问统计:531
油田测井用压力传感器在温度,量程和封装等方面有着特殊的要求,我们提出了一种新型多晶硅压力传感器,其工作温度高(-20~220°C),压力量程宽(2~30 MPa),具有较高的稳定度(<4×10-4FS/°C).文中多晶硅膜的零点温漂TCR 和灵敏度温漂TCS特性,给出了片内温度补偿的方法.
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